Описание:

• Автоматический ввод-вывод химических веществ 
• 4 химических вещества в рамках одной последовательности 
• Повторяемый контроль процесса 
• Контур 1 м × 1,6 м 
•  На 80% меньше воды 
• На 80% меньше выбросов 
• Герметичная система

Области применения:

• Травление
• Очистка
• Снятие фоторезиста
• SicoOzoneТМ

Технические характеристики:

• Огнестойкая полипропиленовая рама (FRPP)
• Возможность размещения рамы справа или слева (обслуживание с одной из сторон)
• Камера вместимостью в 25 пластин (для 1 партии)
• Камера вместимостью в 50 пластин (для 2 партий)
• 1 рабочий ротор для отдельных подложек (2“-8“)
• До 4 нагреваемых рабочих резервуаров с функциями рециркуляции
• До 4 заливных емкостей с дозирующими насосами
• Оптическая система обнаружения конечной точки
• Интерфейс системы управления с сенсорным экраном
• Ведение системного журнала и запись рабочих данных
• Интерфейс SECS/GEM