Описание:

• Диапазон настраиваемых значений удельного сопротивления, 0,5 – 1 Мом/см
• Точный контроль величины предварительно настроенного удельного сопротивления при помощи ПИД-регулятора
• Использование уникальной мембраны позволяет экономно расходовать подаваемый газ и
• Аппаратное присоединение блока к установке резки по каналу RS-232
• Высокая эргономичность, компактная конструкция блока
• Простота технического обслуживания и эксплуатации

Установка помогает избавиться от адгезии частиц и последующего повреждения инструмента обработки пластин, вызываемого возникающими в охлаждающей воде электростатическими эффектами.

При охлаждении режущего инструмента с использованием деионизованной воды, очень важно соблюдать постоянное значение её удельного сопротивления. Посредством постоянного впрыскивания небольшого количества углекислого газа в систему подачи охлаждающей жидкости во время резки и/или очистки понижается и на определённом, предварительно заданном уровне, поддерживается значение этого параметра.

Недавно запущенный в серийное производство встраиваемый блок-инжектор углекислого газа (CO2) ADT 947 уже успел зарекомендовать себя, как точный в настройке, простой в эксплуатации и тихий в работе механизм. Блок специально разработан для работы с установкой дисковой резки полупроводниковых пластин и идеально подходит для решения различных задач, когда требуется непосредственный контроль удельного сопротивления подаваемой технической воды.

Схема работы

Технические характеристики: