Особенно подходит для производства оптико-электронных устройств и светодиодов, управляется с помощью PLC-контроллера и сенсорного экрана. Процесс запускается одним нажатием кнопки, что эффективно повышает производительность и стабильность.
Основные технические характеристики
- 6” источник излучения
- Точность совмещения: +/- 0.5 микрон
- Работа с 2”, 3” ,4”, 6” круглыми и квадратными подложками
- Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина фоторезиста SU-8 до 300 микрон в пропорции до 10:1
- Поддержка PSS-процесса
- Мягкий, жёсткий, вакуумный контакт и экспонирование с зазором
- Режимы управления с постоянной интенсивностью и мощностью
- Возможность расширения до двухсторонней системы экспонирования (опция)
- 6” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
- Управление с помощью программируемого логического контроллера и сенсорного экрана.
- Регулируемый по мощности 2-х канальный источник питания для ближнего УФ с постоянной интенсивностью, мощность 350 Вт.
- Сдвоенная ПЗС-камера и микроскоп, с единым и расщеплённым полем (опция).