Компактная система с открытой загрузкой спроектирована для получения высококачественных диэлектрических пленок.
Система плазмо-химического осаждения из газовой фазы. PECVD модули спроектированы для производства пленок с высокой равномерностью и скоростью осаждения. Система позволяет превосходно контролировать свойства пленок, такие как коэффициент преломления, поверхностное напряжение, электрические характеристики и скорость осаждения.