Вакуумная система напыления BAK761 пользуется всемирной репутацией как эталон экономичного, массового производства, используемый в широком ряде приложений, требующих высокой точности в формировании покрытия и повторяемости в больших объемах производства. Ионное травление и термическое осаждение, “Lift-off” и напыление диэлектриков все это – может быть реализовано на одной гибкой платформе BAK-761
Производительность с различными типами подложкодержателей
Split Systems – Техническое решение компании Evatec
Решение Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах. Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.
|
Равномерности |
|||||
Система |
Пленка |
Толщина |
Скорость |
По пластине |
Пластина к пластине |
Между процессами |
BAK |
Cu |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
NiCr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
Cr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
Ti |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
Al |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
Ag |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
Au |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
Cr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |