Рассеивающий датчик компании INFICON специально сконструирован для использования в любом процессе напыления. Корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиево-медного сплава и позолочены для максимально эффективного охлаждения в среде напыления. Магнит, встроенный в головку датчика, уменьшает избыточный нагрев быстрыми свободными электронами в системах напыления путём их отклонения внешним магнитным полем. Конструкция держателя кристалла с установкой с тыльной стороны обеспечивает простую замену кристалла без обязательного извлечения головки датчика из системы.
Рассеивающий датчик
|
750-618-G1
|
Блок затвора рассеивающего датчика
|
750-005-G1
|
Примечания. В комплекте: кабель 78 см для вакуума, выталкиватель кристалла и руководство пользователя. Кабели другой длины заказываются отдельно. Кристаллы приобретают отдельно.
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения
|
105 °C
|
Размер (макс. огибающая)
|
Нар. Диам. 3,45 см x 1,75 см высота
|
Коаксиальные трубки и трубки для воды и воздуха
|
76,2 см в стандартном исполнении
|
Замена кристалла
|
с тыльной стороны
|
Установка
|
обеспечивает пользователь
|
Вакуумный ввод
|
2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды с коаксиальным соединителем
|
Прочее
|
1) Пользователь обеспечивает вакуумплотные фитинги или соединители для трубок подачи воды
|
Расход воды
|
Мин. расход воды 750 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания). Хладагент не должен содержать хлориды поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Если трубки для воды проходят сквозь охлаждающее устройство, обязательно сливайте воду из трубок в случае прекращения подачи воды.
|
Корпус и держатель
|
Позолоченный сплав бериллия и меди
|
Пружины,электрические контакты
|
Позолоченный сплав бериллия и меди
|
Трубки для воды
|
Позолоченный сплав бериллия и меди, нар. диам. 0,32 см
|
Соединитель
|
Нержавеющая сталь 304
|
Изоляторы
|
99 % Al2O3
|
Провод
|
Медь, покрытая тефлоном
|
Припой
|
Сплавы серебра и индия, не содержащие кадмий
|
Кристалл
|
Диаметр 1,4 см
|
Магнит
|
Сплав ALNICO 5 (ЮНДК)
|
Температура
|
130°C
|
Материалы
|
Нержавеющая сталь 300
|
Давление
|
Рабочее: 90-95 psig (6,2-6,55 бар) [620-655 кПа]
|
Затвор
|
С пневматическим приводом, требуется пневматический клапан управления затвором 750-420-G1
|
Твёрдый припой
|
Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме
|
Примечание. Технические характеристики комбинации вакуумного ввода с датчиком определяются худшими характеристиками каждого компонента.
Соединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:
Материалы
|
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®
|
Температура
|
Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
|
Установка
|
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"
|
Материалы
|
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий
|
Температура
|
Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
|
Установка
|
Под фланцы 2 ¾-дюйма типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375 дюйма
|
Номер для заказа
|
Описание
|
007-023
|
Керамический держатель
|
007-049
|
Держатель кристалла
|
007-007
|
Пружинный замок (для держателя кристалла)
|
007-044
|
Кабель для вакуума, 78,1 см
|
007-047
|
Кожух рассеивающей головки с трубками для воды
|
007-009
|
Магнит для кожуха рассеивающей головки
|
070-0440
|
Упорное кольцо (устанавливается на шток затворного узла)
|
070-0442
|
Упорное кольцо (устанавливается на шток затворного узла)
|
070-0441
|
Прокладка (устанавливается на шток затворного узла)
|
082-044
|
Винт 2-56 х 0,25 дюйма Teflon для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1
|
082-029-P1
|
Установочный винт 2-56 х 1,8 дюйма для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1
|
750-005-G1
|
Пневматический затворный узел
|
750-009-P2
|
Крышка шарнира (устанавливается на шток затворного узла)
|
750-046-G2
|
Затворный узел для пневматического затворного узла
|
750-048-P1
|
Пружинный замок для корпусов рассеивающей головки моделей 007-048 и 750-619-G1
|
750-115-P4
|
Муфта (устанавливается в сильфонный узел)
|
750-169-P4
|
Сильфонный узел для пневматического затворного узла
|
750-174-P2
|
Коаксиальный соединитель розеточного типа для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1
|
750-175-P1
|
Изолятор для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1
|
750-188-P2
|
Плоская пружина для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1
|
750-619-G1
|
Корпус рассеивающей головки с коаксиальным соединителем
|
750-626-P1
|
Пружина для кожуха рассеивающей головки
|