Leica EM TIC3x - система трехлучевого ионного травления материалов на большую глубину. Система использует принцип одновременного поперечного травления с трех направлений для подготовки поверхности для SEM и AFM исследований, а также проведения микроструктурного анализа (EDS, WDS, Auger и EBSD).
Держатель образцов позволяет обрабатывать образцы с размерами до 50х50х10мм. Для работы на системе требуется минимальная предварительная механическая подготовка образца. К функциональным особенностям прибора можно отнести 3 Ar ионных пушки, столик, перемещающийся в трех направлениях и встроенный стереомикроскоп.