Описание

Система контроля плазменных процессов PPM422 (Plasma Process Monitor) представляет собой масс-спектрометр с дифференциальной накачкой и с интегрированным энергетическим анализатором для измерения нейтральных частиц, положительных и отрицательных ионов, а также для энергетического анализа ионов и нейтральных частиц в плазменных процессах.

Преимущества и особенности:

• Обнаружение нейтральных частиц и положительных и отрицательных ионов из плазмы
• Энергетический анализ нейтральных частиц и положительных и отрицательных ионов
• Измерение радикалов
• Определение конечной точки плазменных процессов
• Широкий динамический диапазон
• Высокая скорость измерения