Olympus LEXT – конфокальный лазерный сканирующий микроскоп отраженного света. Обладает уникальным сочетанием высокой разрешающей способности (до 0,12 мкм), непревзойденной глубины резкости и огромного диапазона увеличения (120х-14400х).
Одновременная обработка лазерного конфокального и обычного RGB изображения. Изображение в ДИК позволяет легко задавать диапазоны 3D сканирования поверхности.
Непревзойденное разрешение с использованием твердотельного 408 нМ лазера: 0,12 мкм по длине/ширине и 0,01 мкм по высоте сопоставимо с разрешением SEM электронных микроскопов.
Высокоточные измерения в режиме 2D и 3D в диапазоне от 1 мкм до 1.5 мм по каждой оси, например толщины прозрачных тонких пленок, глубины, площади, периметра, углов, радиусов и др. морфологических характеристик объектов. Воспроизводимость измерений 0,02 мкм по горизонтали и 0,052 мкм по вертикали.
Бесконтактный анализ шероховатости как гладких, так и грубых поверхностей с использованием интуитивно понятного программного обеспечения. Статистическая обработка результатов. Автоматизация анализа с помощью моторизированных компонентов.
|
Лазерный сканирующий |
Универсальный |
|
Метод исследования |
Лазер |
Лазер, светлое и темное поле, ДИК |
|
Освещение |
Лазер |
408 нМ твердотельный лазер. |
|
Класс 2 |
|||
Светлое поле |
— |
Галогеновая лампа 12В100Вт |
|
Фокус |
Вертикальный ход столика |
70 мм |
|
Максимальная высота образца |
100 мм |
||
Вертикальный ход револьверной гоовки |
10 мм |
||
Разрешение |
0,01мкм |
||
Объективы |
5x, 10x, 20x, 50x, 100x |
||
Оптический Zoom |
1x-6x |
||
Общее увеличение |
120x-14400x |
||
Поле зрения |
От 2560x2560 мкм до 21x21 мкм |
||
Предметный столик |
Механический |
Перемещение 100x100 мм |
|
Моторизированный |
Перемещение 150x100 мм |
||
Оцифровка изображения |
1024x1024x12bit\ 1024x1024x16bit |
||
Автофокус |
Лазерный |